含义:
1、欧姆接触是指金属与半导体形成欧姆接触是指在接触处是一个纯电阻,而且该电阻越小越好,使得组件操作时,大部分的电压降在活动区而不在接触面。因此,其I-V特性是线性关系,斜率越大接触电阻越小,接触电阻的大小直接影响器件的性能指标。
2、欧姆接触对半导体器件非常重要,形成良好的欧姆接触有利于电流的输入和输出,对不同半导体材料常选择不同配方的合金作欧姆接触材料。
3、欧姆接触在金属处理中应用广泛,实现的主要措施是在半导体表面层进行高掺杂或者引入大量复合中心。
形成欧姆接触的方法主要有:
低势垒接触
高复合接触
高掺杂接触
关键词: 金属半导体 欧姆接触材料 线性关系 复合中心
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